FF-40/25型仪器分子泵
产品特点:
国内最小口径分子泵;
紧凑型结构设计,便于集成,可以实现24VDC供电后分子泵直接运行;
低功耗、低振动、节能;
更高前级耐压,适合分析仪器行业;
可任意角度安装
技术指标:
进气口法兰(ISO-KF) DN40 排气口法兰(ISO-KF) DN16
抽速速率(L/s) N2:22 He:18 H2:11 Ar:25 压缩比 N2: 1E6 He:1E2 H2:1E2 Ar:1E6
极限压强(Pa) 1E-4 最大连续前级压强(Pa) 500
最大前级压强(Pa) N2:1000 最大气载量(sccm) N2:23 He:18 H2:12 Ar:28
额定转速(RPM) 36000 启动时间(min) ≤3
冷却方式 风冷 电源电压(VAC) DC24/AC220
最大功率(W) 70 适配电源型号 TD-25/TCP-100/TC-100
建议前级泵(L/s) 0.5~1 重量(kg) 3
应用领域:
硅刻蚀、玻璃镀膜、PVD镀膜、科研应用、表面分析、加速器、太阳能、热处理