品牌:常州鸿明
型号:HM-ETC-2000C
联系人:黄经理
联系电话:18551070880
仪器简介:
HM-ETD-2000C 溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,最简单、可靠、经济的镀膜设备。满足电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备和非导体材料实验电极制作。
技术参数:
配置参数如下:
- 仪器尺寸 : 400mm×300mm×400mm(L×W×H)
- 真空样品室: 硼硅酸盐玻璃 160mm×110mm(D×H)
- 靶(上部电极): 50mm×0.1mm(D×H)
- 样品台: 50mm (D)
- 操作真空: 4×10-1mbar至2×10-2mbar
- 工作电压: 0-1600V (DC)可调
- 溅射电流: 0-50mA
- 溅射定时: 1-9999S
- 蒸碳电流 0-10A(AC)
- 真空泵: 2升两级机械旋转泵(极限真空2×10-2mbar)