品牌:常州鸿明
型号:HM-V160
原理类型:真空蒸发镀膜机
应用领域:所有行业
极限真空度类型:超高真空
镀膜室尺寸:160mm
抽气时间:2min
具体价格请联系客服或致电本公司,量大优惠
黄经理
联系电话:18551070880
零售价:23000元/台
1.真空腔体为直径160 mm的玻璃腔体,易清洁和放入样品;
2.安装有一个110 mm的样品台,并且样品台可以旋转,使所制薄膜达到更好的均匀性;
3.采用钨舟作为发热源,最高温度可达到2300℃;(赠送三只)
4.精确控温:可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1℃;
5.自动/手动双控制选择;
6.设备上有一KF25接口用于连接真空泵;
7.最高真空度可达1E-6 Pa(采用涡旋分子泵)
8.双极旋片真空泵,可使仪器真空腔体的真空度达到0.1 Pa;
9.真空度达到0.1 Pa时,可蒸发一些贵金属,如金、银、铂、铝、钛等金属薄膜,也可蒸发有机材料和半导体材料;
10.高真空度可达1E-3 Pa(采用涡旋分子泵),此时可蒸发对氧敏感的材料,如Mg、Li等强活泼性金属;
11.样品台可静止或自动旋转,转速为:15 rpm
12.样品台和蒸发源之间的距离可以调节,调节范围为:50mm-150mm;
13. 配备膜厚检测仪