西特217美国西特217系列超高纯气体压力变送器MODEL 217

Setra

西特

217

超高纯压力变送器

　　Setra 217 型压力变送器专为模块式 “Block” 气体棒和面板设计，非常适合恶劣环境（例如冷气流导致的温度瞬变下的压力测量应用于·模块式“Block”气体棒和面板·高纯度气体输送系统半导体过程工具。

常用型号

　　217G025PGE11106J 217G050PGE11106J 217G250PGE11106J 217G500PGE11106J 217G1000PGE11106J 217G2000PGE11106J 217G3000PGE11106J

　　217G0R7BGE11106J 217G3R4BGE11106J 217G017BGE11106J 217G007BGE11106J 217G035BGE11106J 217G138BGE11106J

　　特性

　　·316 L VIM/VAR 不锈钢

　　·表面抛光度 7 Ra

　　·1×10-9 级别的氨渗漏实验

　　·出色的稳定性，避免停机

　　·可选带 C 型或 W 型密封的压力端口

　　·抗电磁干扰 / 射频干扰，可防止误停机

　　·易于吹扫

　　·符合 CE 和 RoHS 标准要求

　　应用

　　·模块式“Block”气体棒和面板

　　·高纯度气体输送系统

　　·半导体过程工具

　　217 型压力变送器可选带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力

　　端口，带有易于吹扫的小型传感器腔室。所有接液部件均采

　　用 VIM/VAR316L 不锈钢制造，且表面钝化抛光至 5 Ra（蕞

　　大 7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实现无污染气体输送。

　　每个传感器都采用质谱仪进行了 1 x10-9 级别的

　　氦渗漏试验。

　　217 型压力变送器可选 5VDC、 10VDC 或 4-20mA 三种

　　输出类型，并提供多种标准电气接口。顶部外侧带有零点

　　和量程调整装置，进一步体现了独特设计，适合所有朝下

　　安装的 UHP（超高纯）压力测量应用。 217 型同时也是

　　一款获砖利的可变电容传感器，采用 316L不锈钢隔膜和

　　绝缘电极板，可变电容在传感器本体与电极板之间形成。

　　当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使电容减小。传感

　　器将检测到电容变化，并基于砖利的电荷平衡原理，通过

　　Setra 独特的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流

　　电信号。

　　Setra 所有的超高纯系列产品都基于 Setra成熟的电容传

　　感技术制造，能提供几乎不受 EMI/RFI干扰的高精度、稳

　　定的电压或电流输出信号。

217

型的技术规格

性能数据

　　jing确RSS*（恒定温度下）±0.25%全量程或读数±1.0%

　　非线性，BFSL±0.15%全量程

　　滞后0.20%全量程

　　非重复性0.02%全量程

　　热效应**

　　补偿范围oF(℃)+15到+150（-9到+65）

　　零点漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)

　　范围漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)

　　*非线性、非重复性和迟滞的RSS（和方根）值。

　　**在额定70oF下校验过的设备。根据此数据而计算的**温度误差。

环境数据

　　温度

　　工作温度*oF(℃)-40到+185（-40到+85）

　　储存温度oF(℃)-40到+185（-40到+85）

　　*工作温度仅是电子设备的温度Ji限。受压媒介的温度可能要高或低很多。

物理描述

　　外壳不锈钢

　　电气连接6ft.多芯电缆，Bayonetor

　　D-型接头

　　压力接头下安装“C”密封

　　通风通过零点和范围接近螺钉

　　重量6.5oz(184g)

电气数据（电压）

　　电路3根导线（Exc、Out、Com）

　　激励10至30VDC（5VFSO）

　　13至30VDC（10VFSO）

　　输出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**

　　0至10VDC或0.2至10.2VDC**

　　电流消耗<8mA

　　*校准精度为50Kohm负荷，可操作5000ohm或更大的负荷。

　　**零点输出的出厂设置在±25mV之内（限5VDC输出）

　　或±50mV(限10VDC输出)。

　　**范围（全量程）输出的出厂设置在±25mV之内

　　（限5VDC输出）或±50mV(限10VDC输出)。

电气数据（电流）

　　电路2根导线

　　输出*4至20mA**

　　外部负荷0至800Ohm

　　**电源电压(VDC)=10+0.02x（接收器正Ji导线的电阻）。

　　**电源电压(VDC)=30+0.004x（接收器正Ji导线的电阻）。

　　*出厂时以24VDC回路电压和一个250ohm负荷，进行校准。

　　**零点输出的出厂设置在±0.08mA之内。

　　**范围（全量程）输出的出厂设置在±0.08mA之内。

压力媒介

　　与316L不锈钢相兼容的液体或气体。

　　产品规格如有变更，恕不另行通知。