T1100-02-00加速度传感器

　　T1100-02-00加速度传感器

　　结构组成：

　　加速度传感器，包括由硅膜片、上盖、下盖，膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起；一维或二维纳米材料、金电J和引线分布在膜片上，并采用压焊工艺引出导线；工业现场测振传感器，主要是压电式加速度传感器。其工作原理主要利于压电敏感元件的压电效应得到与振动或者压力成正比的电荷量或者电压量。目前工业现场典型采用IEPE型加速度传感器，及内置IC电路压电加速度传感器，传感器输出与振动量正正比的电压信号

　　根据原理不同分为以下几种类型：

　　压电式加速度传感器

　　压阻式加速度传感器

　　电容式加速度传感器

　　伺服式加速度传感器

　　动作原理：

　　加速度传感器是以测量加速度（速度的变化）为目的的传感器。加速度传感器分为很多种，可测量振动、倾斜、冲击等的加速度。从我们身边的物品来看，汽车的安全气囊、智能手机、触摸屏等均用到了加速度传感器。

　　「静电容量式加速度传感器」即为加速度传感器的一种方式。静电容量式加速度传感器是对内部的锤动作所产生的电流进行检测（测量）。为此，由以下几部分构成：使用玻璃锤和硅锤等的传感器部分、可动电J（请将其当作可动元件来考虑、固定电J（请将其当做固定元件来考虑）。一旦施加加速度，传感器部的锤将会动作，可动电J与固定电J之间的静电容量将会发生变化。将这一变化转换为电压后进行输出。

　　传感器的输出电压会因温度变化而产生误差，因此为将误差控制在*小程度，组装有温度补偿回路（该回路使其接近本来的电气信号）。

　　偏移电压与满量程：

　　「满量程」是指相对于可检测的加速度，可输出的全范围的电压。图1表示GS1、GS2的传感器的检测范围与输出电压。如图所示，满量程为4.5V。

　　「偏移电压」是指＋输入端子与－输入端子均为0V时，即检测加速度处于0g状态时所输出的电压。例如，如图1所示，GS1、GS2偏移电压约为2.5V。但是，如上文所述，实际上因温度变化等，电压还会产生误差。

　　相对于满量程，误差占多少比例，用「％FS（百分比满量程）」单位来表示这一数值。例如，图1中作为示例标记为「±5%FS」，因此，相对于4.5V，可求出5%=4.5×0.05≒0.2，即±0.2V。换而言之，输出电压中可能会存在0.2V的误差。

　　「％FS」所表示的输出电压的*大波动数值即为传感器本身的精度，因此请牢记。误差越小越理想。

　　加速度传感器的非直线性：

　　下面介绍「非直线性」。如图2所示，输入的加速度与输出値的关系（输出特性）呈直线是*理想的。

　　非直线性是指这一理想关系与实际数值之间的偏差，以±%FS为基准作出规定。但是，由于加速度传感器的非直线性J小，因此实际上无需太过在意。

　　输出特性呈曲线，连接＋2g与－2g的直线输出所产生的*大误差即为非直线性。该数值越小越接近于直线。

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