品牌：晨立扩散炉
型号：CL
类型：高温扩散炉，卧式扩散炉
用途：用于大规模集成电路、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
功率：1kw
外形尺寸：1mm
重量：1kg
炉管数：1～4管
配工艺管口径：Φ90～360 mm 3～12英寸
恒温区长度：760～1500 mm
单点稳定性：±1.0℃/24h 300～800℃ ±0.5℃/24h 800～1280℃
气源路数：≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
| | 卧式扩散炉--扩散炉 | 扩散炉--高温扩散炉，卧式扩散炉，晨立简单介绍： --高温扩散炉，卧式扩散炉，晨立 设备用途：用于大规模集成电路、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。 设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。 主要技术指标： ★ 炉管数：1～4管 ★ 配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸) ★ 恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃) ★ 单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃) ★ 气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器 ★ 气体控制： 浮子/质量流量计 ★ 悬臂舟参数： 速度： 20～1000 mm/min 最大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 最大载荷：17 Kg ★ 超净工作台： 净化等级：100级（万级厂房） 噪音： ≤62dB（A） 振动： ≤3μm 晨立最新扩散炉设备新鲜出炉,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格高端产品满足不同工艺的要求. | | 扩散炉炉体 | 一、炉体材料: ★ 炉丝：Φ8～Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。 ★ 绝缘子:采用99瓷制作，碳化硅管用高脚，石英管用矮脚。 ★ 保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。 ★ 外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。 ★ 热偶座：进口弹簧卡状固定座。 ★ 把口环：陶瓷纤维把口环，既保温，又有一定机械强度。 二、炉体参数: ★ 工作温度： ≤1300℃ ★ 恒温区长度： 500mm-1000mm ★ 炉体内径： Φ90～Φ360 mm（3～12英寸） ★ 规范使用： 寿命可达20个月以上（1200℃） ★ 替代进口： 全方位配套 三、应用： 青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、THERMCO，荷兰ASM，英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可应用于处理3～12英寸硅片的扩散炉、太阳能电池片扩散炉 |
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