品牌:其他
型号:ZK-D
原理类型:真空溅射镀膜机
应用领域:光学薄膜
极限真空度类型:高真空0.00001~0.1Pa
极限真空度:0.00005Pa
镀膜室尺寸:450mm
工作真空度:0.00005Pa
抽气时间:30min
技术参数:
1. 极限真空度:5×10-5Pa;
2. PLD与PVD在一个腔体内镀膜;
3. 配有进样室及机械手磁力传动机构,在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放;
4. 基板加热温度:900℃;
5. 配有多个观察窗,方便观察内部的运行情况;
6. 球体直径为450mm,也可根据客户要求进行定制。
技术参数:
1. 极限真空度:5×10-5Pa;
2. PLD与PVD在一个腔体内镀膜;
3. 配有进样室及机械手磁力传动机构,在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放;
4. 基板加热温度:900℃;
5. 配有多个观察窗,方便观察内部的运行情况;
6. 球体直径为450mm,也可根据客户要求进行定制。
技术参数:
1. 极限真空度:5×10-5Pa;
2. PLD与PVD在一个腔体内镀膜;
3. 配有进样室及机械手磁力传动机构,在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放;
4. 基板加热温度:900℃;
5. 配有多个观察窗,方便观察内部的运行情况;
6. 球体直径为450mm,也可根据客户要求进行定制。
技术参数:
1. 极限真空度:5×10-5Pa;
2. PLD与PVD在一个腔体内镀膜;
3. 配有进样室及机械手磁力传动机构,在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放;
4. 基板加热温度:900℃;
5. 配有多个观察窗,方便观察内部的运行情况;
6. 球体直径为450mm,也可根据客户要求进行定制。
技术参数:
1. 极限真空度:5×10-5Pa;
2. PLD与PVD在一个腔体内镀膜;
3. 配有进样室及机械手磁力传动机构,在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放;
4. 基板加热温度:900℃;
5. 配有多个观察窗,方便观察内部的运行情况;
6. 球体直径为450mm,也可根据客户要求进行定制。
技术参数:
1. 极限真空度:5×10-5Pa;
2. PLD与PVD在一个腔体内镀膜;
3. 配有进样室及机械手磁力传动机构,在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放;
4. 基板加热温度:900℃;
5. 配有多个观察窗,方便观察内部的运行情况;
6. 球体直径为450mm,也可根据客户要求进行定制。